প্লাজমা বর্ধিত পিইসিভিডি টিউব চুল্লিগুলিতে কোন গ্যাস ব্যবহার করা যেতে পারে?

প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস:
সিলেন (সিআইএইচ ₄): সিলিকন - ভিত্তিক পাতলা ছায়াছবি যেমন নিরাকার সিলিকন, মাইক্রোক্রিস্টালাইন সিলিকন, সিলিকন নাইট্রাইড (সি ∝ n ₄), এবং সিলিকন অক্সাইড (সিও ₂) জমা দেওয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়।
অ্যামোনিয়া গ্যাস (এনএইচ 3): প্রায়শই সিলেনের সাথে সিলিকন নাইট্রাইড ফিল্ম জমা করতে এবং একটি নাইট্রোজেন উত্স সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয়।
নাইট্রোজেন (এন ₂): ক্যারিয়ার গ্যাস বা মিশ্রিত গ্যাস হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং সিলিকন নাইট্রাইডের মতো পাতলা ছায়াছবিগুলির জমা দেওয়ার প্রতিক্রিয়াতেও অংশ নিতে পারে।
নাইট্রাস অক্সাইড (এন ₂ ও) বা অক্সিজেন (ও ₂): সিলিকন অক্সাইড ফিল্ম জমা করতে এবং একটি অক্সিজেনের উত্স সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয়।
মিথেন (সিএইচ ₄) বা অন্যান্য হাইড্রোকার্বন: কার্বন ভিত্তিক ছায়াছবি যেমন ডায়মন্ড - এর মতো কার্বন (ডিএলসি) ফিল্মগুলির জন্য জমা দেওয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়।

জড় গ্যাস (ক্যারিয়ার গ্যাস/দুর্বল গ্যাস):
আর্গন (এআর): সাধারণত প্লাজমা স্থিতিশীল করতে এবং প্রতিক্রিয়া গ্যাসের আংশিক চাপ নিয়ন্ত্রণ করতে সহায়তা করতে ক্যারিয়ার গ্যাস বা পাতলা গ্যাস হিসাবে সাধারণত ব্যবহৃত হয়।
হিলিয়াম (এইচই): এটি ক্যারিয়ার গ্যাস হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে এবং উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা রয়েছে, যা প্রতিক্রিয়া তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে সহায়তা করে।

ডোপিং গ্যাস:
ফসফাইন (পিএইচ ∝): এন - টাইপ ডোপিংয়ের জন্য ব্যবহৃত এন - টাইপ সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ছায়াছবি টাইপ করুন।
বোরেন (বি ₂ এইচ ₆): পি - টাইপ ডোপিং এবং পি - টাইপ সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ছায়াছবি টাইপ করার জন্য ব্যবহৃত।
বোরন ট্রাইফ্লোরাইড (বিএফ ∝): এপি - টাইপ ডোপিং উত্স হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে।

অন্যান্য বিশেষ গ্যাস:
হাইড্রোজেন (এইচ ₂): সাধারণত হ্রাস প্রতিক্রিয়া বা সিলেনের সাথে সংমিশ্রণে পাতলা ছায়াছবিগুলির জমা দেওয়ার হার এবং বৈশিষ্ট্যগুলি নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়।
সালফার হেক্সাফ্লুওরাইড (এসএফ ₆): এচিং বা পৃষ্ঠের চিকিত্সার জন্য নির্দিষ্ট বিশেষ প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়।

গ্যাস নির্বাচনকে প্রভাবিত করার কারণগুলি:
ফিল্মের ধরণ: প্রয়োজনীয় জমা হওয়া ফিল্ম উপাদানগুলির উপর ভিত্তি করে সংশ্লিষ্ট প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস নির্বাচন করুন (যেমন সিও ₂, সি ∝ n ₄, ডিএলসি ইত্যাদি)।
ডোপিং প্রয়োজনীয়তা: পি - টাইপ বা এন - টাইপ সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ছায়াছবিগুলি প্রস্তুত করতে, সংশ্লিষ্ট ডোপিং গ্যাসগুলি চালু করা দরকার।
প্রক্রিয়া শর্তাদি: গ্যাস প্রবাহের হার, অনুপাত এবং চাপের মতো পরামিতিগুলি পাতলা ছায়াছবিগুলির জবানবন্দি হার, গুণমান এবং কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করতে পারে।
সুরক্ষা: সিলেন এবং ফসফিনের মতো নির্দিষ্ট কিছু গ্যাসগুলি জ্বলনযোগ্য, বিস্ফোরক বা বিষাক্ত এবং সুরক্ষা অপারেটিং পদ্ধতিতে কঠোর আনুগত্যের প্রয়োজন হয়।

ব্যবহারিক প্রয়োগ উদাহরণ:
সিলিকন নাইট্রাইড পাতলা ফিল্মের জমা: সাধারণত, সিলেন (সিআইএইচ ₄) এবং অ্যামোনিয়া (এনএইচ 3) চালু করা হয়, এবং কখনও কখনও নাইট্রোজেন (এন ₂) বা আর্গন (এআর) ক্যারিয়ার গ্যাস হিসাবে যুক্ত করা হয়।
সিলিকন অক্সাইড পাতলা ছায়াছবি জমা: সাধারণত, সিলেন (সিআইএইচ ₄) এবং নাইট্রাস অক্সাইড (এন ₂ ও) বা অক্সিজেন (ও ₂) চালু করা হয়।
ডিএলসি ফিল্মের জমা: সাধারণত, মিথেন (সিএইচ ₄) এবং হাইড্রোজেন (এইচ ₂) চালু করা হয় এবং কখনও কখনও আর্গন (এআর) ক্যারিয়ার গ্যাস হিসাবে যুক্ত হয়।