ভ্যাকুয়াম কোটার স্পুটারিং উত্স
একটি বার্তা রেখে যান
ভ্যাকুয়াম কোটার স্পুটারিং উত্স
The sputtering machine consists of a vacuum chamber, exhaust system, sputtering source and control system. The sputtering source is further divided into power supply and sputter gun. The magnetron sputtering gun is divided into flat type and cylindrical type. The flat type is divided into rectangular type and circular type. The target material utilization rate is 30-40%. Target material utilization rate>50 শতাংশ স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাইকে ভাগ করা হয়েছে: ডাইরেক্ট কারেন্ট (ডিসি), রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ), পালস (পালস), ডাইরেক্ট কারেন্ট: 800-1000 কন্ডাক্টরের জন্য ভি (ম্যাক্স), অবশ্যই ডিজাস্টার আর্ক করতে সক্ষম হবে।
ভ্যাকুয়াম কোটার ডায়োড স্পুটারিং
ডায়োড স্পুটারিং: লক্ষ্য হল ক্যাথোড, ধাতুপট্টাবৃত করা ওয়ার্কপিস এবং ওয়ার্কপিস ফ্রেম হল অ্যানোড, এবং উচ্চ প্লেটিং হার পেতে গ্যাস (আর) চাপ প্রায় কয়েক Pa বা তার বেশি।
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং: ক্যাথোড টার্গেটের পৃষ্ঠে একটি অর্থোগোনাল ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ড তৈরি হয় এবং এই এলাকায় ইলেকট্রনের ঘনত্ব বেশি, যার ফলে আয়নের ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়, যার ফলে স্পুটারিং রেট বৃদ্ধি পায় (একটি ক্রম মাত্রার), এবং স্পুটারিং গতি 0 পর্যন্ত পৌঁছান।
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন sputtering নীতি
দশ হাজার ইলেকট্রন ভোল্ট বা উচ্চতর গতিশক্তি সহ চার্জিত কণা উপাদানটির পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করে এবং এটিকে গ্যাস পর্যায়ে ছড়িয়ে দেয়, যা এচিং এবং আবরণের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে। একটি ঘটনা আয়ন দ্বারা sputtered পরমাণু সংখ্যা sputtering ফলন বলা হয়. উচ্চ ফলন, দ্রুত sputtering গতি. Cu, Au, Ag সর্বোচ্চ এবং Ti, Mo, Ta, W সর্বনিম্ন। সাধারণত 0।{1}} পরমাণু/আয়ন। ডিসি গ্লো স্রাব দ্বারা আয়ন তৈরি করা যেতে পারে। 10-1-10 Pa এর ভ্যাকুয়াম ডিগ্রীতে, একটি উচ্চ ভোল্টেজ দুটি মেরুগুলির মধ্যে প্রয়োগ করা হয় যাতে একটি স্রাব উৎপন্ন হয়। ধনাত্মক আয়ন নেতিবাচক চার্জযুক্ত লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করবে এবং লক্ষ্যকে ছিটকে দেবে এবং প্রলেপ দেওয়া পর্যন্ত প্রলেপ দেবে। জিনিসের উপর
স্বাভাবিক গ্লো ডিসচার্জের বর্তমান ঘনত্ব ক্যাথোড উপাদান এবং আকৃতি, গ্যাসের প্রকারের চাপ ইত্যাদির সাথে সম্পর্কিত। স্পুটারিংয়ের সময় এটি যতটা সম্ভব স্থিতিশীল রাখা উচিত। যেকোন উপাদান ছিটকে যেতে পারে, এমনকি উচ্চ গলনাঙ্কের উপকরণও ছিটকে পড়া সহজ, তবে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF) বা পালস (পালস) স্পুটারিং অ-পরিবাহী লক্ষ্যগুলির জন্য প্রয়োজন; এবং দরিদ্র পরিবাহিতা কারণে, sputtering শক্তি এবং গতি তুলনামূলকভাবে বেশি। কম মেটাল স্পুটারিং পাওয়ার 10W/cm2 পর্যন্ত, অ-ধাতু<5W/cm2
www.superbheater.com
