ভ্যাকুয়াম সিলভারিং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রক্রিয়ার প্রধান সুবিধা
একটি বার্তা রেখে যান
ভ্যাকুয়াম সিলভারিং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রক্রিয়ার প্রধান সুবিধা
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রক্রিয়ার প্রধান সুবিধা হল যে প্রতিক্রিয়াশীল বা অ-প্রতিক্রিয়াশীল আবরণ প্রক্রিয়াগুলি স্তর গঠন, ফিল্মের বেধ, ফিল্মের পুরুত্বের অভিন্নতা এবং ফিল্মের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য ইত্যাদির উপর ভাল নিয়ন্ত্রণের সাথে এই উপকরণগুলির স্তরগুলি জমা করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।
ভ্যাকুয়াম সিলভার প্লেটিং লক্ষ্য বিষক্রিয়া সমাধান
(1) মধ্যবর্তী ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই বা রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করুন।
(2) প্রবর্তিত প্রতিক্রিয়া গ্যাসের পরিমাণ নিয়ন্ত্রণ করতে ক্লোজড-লুপ গ্রহণ করুন।
(3) যমজ লক্ষ্য ব্যবহার করা
(4) আবরণ মোডের রূপান্তর নিয়ন্ত্রণ করুন: আবরণের আগে, লক্ষ্য বিষক্রিয়ার হিস্টেরেসিস প্রভাব বক্ররেখা সংগ্রহ করুন, যাতে গ্রহণের বায়ু প্রবাহ লক্ষ্য বিষক্রিয়ার সামনে নিয়ন্ত্রিত হয়, এবং প্রক্রিয়াটি জমা হওয়ার আগে সর্বদা মোডে থাকে। হার তীব্রভাবে কমে যায়।
ভ্যাকুয়াম সিলভার-প্লেটেড লক্ষ্যগুলির বিষক্রিয়ার শারীরিক ব্যাখ্যা
(1) সাধারণভাবে, ধাতব যৌগের সেকেন্ডারি ইলেক্ট্রন নির্গমন সহগ ধাতুর তুলনায় বেশি। লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়ার পর লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠ ধাতব যৌগ দ্বারা আবৃত থাকে। আয়ন দ্বারা বোমা হামলার পরে, নির্গত সেকেন্ডারি ইলেকট্রনের সংখ্যা বৃদ্ধি পায়, যা স্থানের দক্ষতা উন্নত করে। টার্ন-অন ক্ষমতা প্লাজমা প্রতিবন্ধকতা হ্রাস করে, যার ফলে কম স্পুটারিং ভোল্টেজ হয়। এইভাবে, sputtering হার হ্রাস করা হয়. সাধারণভাবে, ম্যাগনেট্রন স্পাটারিংয়ের স্পুটারিং ভোল্টেজ 400V এবং 600V এর মধ্যে হয়। লক্ষ্য বিষক্রিয়া ঘটলে, sputtering ভোল্টেজ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করা হবে।
(2) ধাতব লক্ষ্য এবং যৌগিক লক্ষ্যের স্পুটারিং হার ভিন্ন। সাধারণত, ধাতুর স্পুটারিং সহগ যৌগের তুলনায় বেশি হয়, তাই লক্ষ্য বিষাক্ত হওয়ার পরে স্পুটারিং হার কম হয়।
(3) প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং গ্যাসের স্পুটারিং কার্যকারিতা নিষ্ক্রিয় গ্যাসের তুলনায় সহজাতভাবে কম, তাই যখন প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের অনুপাত বৃদ্ধি পায়, তখন সামগ্রিক স্পুটারিং হার হ্রাস পায়।
ভ্যাকুয়াম সিলভার প্লেটিং লক্ষ্যের বিষক্রিয়ার ঘটনা
(1) ধনাত্মক আয়ন সঞ্চয়ন: লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়া হলে, লক্ষ্য পৃষ্ঠে একটি অন্তরক ফিল্ম তৈরি হয়। ধনাত্মক আয়নগুলি যখন ক্যাথোড লক্ষ্য পৃষ্ঠে পৌঁছায়, অন্তরক স্তর অবরুদ্ধ করার কারণে, তারা সরাসরি ক্যাথোড লক্ষ্য পৃষ্ঠে প্রবেশ করতে পারে না, তবে লক্ষ্য পৃষ্ঠে জমা হয়, যা ঠান্ডা ক্ষেত্রে প্রবণ। আর্ক-ইনডিউসড ডিসচার্জ --- আর্কিং, যাতে ক্যাথোড স্পুটারিং চলতে না পারে।
(2) অ্যানোড অদৃশ্য হয়ে যায়: যখন লক্ষ্যটি বিষাক্ত হয়, তখন গ্রাউন্ডেড ভ্যাকুয়াম চেম্বারের দেয়ালে একটি অন্তরক ফিল্মও জমা হয় এবং অ্যানোডে পৌঁছানো ইলেকট্রনগুলি অ্যানোডে প্রবেশ করতে পারে না, ফলে অ্যানোডটি অদৃশ্য হয়ে যায়।
www.superbheater.com
